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장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술원
장비명
OLED 조명소자 공정 및 패키징 장비 (OLED Deposition & TFE (Thin Film Encapsulation) Sy)
모델명
Sunicel plus 200
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2011
용도
생산
분류
시험장비
취득일
2011.12.31
장비설명
OLED 조명소자 공정장비는 tact time 6분 이내의 In-Line Concept을 적용한 시스템으로 Linear Source를 적용함. 최대 기판의 크기는 200X200 mm2 이며, 발광유효증착면적비율은 81%임. 증착시스템은 유기물 증착 챔버 2종과 메탈 챔버 1종으로 구성되고 2E-7 Torr 이상의 고진공에서 공정이 진행되며, 기판과 마스크간의 공차는 150um 이하이고, 유무기 박막의 균일도는 3% 이내임. 플렉시블조명, 감성조명, 투명조명 등의 향후 발전전망에 따라 봉지공정을 Glass 봉지 방식과 유기물과 무기물을 다층으로 적층하는 Thin Film Encapsulation System 을 장착함.
장비구성

성능
-Substrate Size : 200mm*200mm Glass (Thickness 0.5~0.7mm)-Evaporation Effective Area : 170mm*170mm-Alignment : Mechanical Align ≤ ±150㎛-Foot Print : Ref. 13000*5000*2000mm
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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